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| 소개글 |
실리콘 웨이퍼의 강도와 인성을 측정한 실험을 바탕으로 작성한 졸업논문입니다. |
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| 목차 |
1. Abstract (초록
2. Introduction (서론
2-1. 본 연구의 필요성
2-2. 이론적 배경
2-2-1. 굽힘강도시험
2-2-2. 연성파괴와 취성파괴
2-2-3. 재료의 강도와 인성에 영향을 주는 인자
2-2-4. 표면 노치효과
3. Experimental procedure (연구방법)
3-1. 실험재료의 선택
3-2. 실험시편의 제조
3-3. 강도와 인성 측정 및 분석
4. Results & Discussion (결과 및 고찰
4-1. 실리콘 웨이퍼의 재료 특성 평가
4-2. 실리콘 웨이퍼의 강도와 인성의 평가
4-3. 시편의 파면분석
5. Summary (요약
6. Acknowledgment (감사의 글
7. References (참고문헌 |
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| 본문내용 |
1. Abstract
실리콘 웨이퍼를 대상소재로 하여 강화재와 노치에 따른 기계적 특성의 변화를 평가하였다. 실리콘 웨이퍼를 작게 잘라 수직선과 대각선으로 노치를 낸 것의 2종류를 만들고 샤프심을 강화재로 사용하여 각각 0개, 1개, 2개, 3개, 4개의 조건으로 성형하여 건조시킨 후, flexural strength와 toughness를 재료시험기를 이용하여 측정하였다. 노치의 방향에 관계없이 강화재의 개수가 증가 할수록 strength와 toughness가 모두 증가하였다. 또한, 수직선 노치 시편은 flexural strength 3.85MPa, toughness 31KPa, 대각선 노치시편은 flexural strength 4.02MPa, toughness 26KPa로 수직선 노치 시편은 toughness가, 대각선 노치시편은 strength가 높게 나타났다.
2-1. 본 연구의 필요성
20세기 인류의 문화를 이끌어 나가는 많은 산업 중에 그 발전 속도 및 기여도에 있어 전자 산업은 매우 중요한 위치를 차지한다. 고상의 트랜지스터(transistor)가 발명된 지 50년, 그리고 이를 집적회로(integrated circuit, IC)로 집적화 하기 시작한 지 약 30년임을 상기하면 전자 산업이 우리 생활에 미치는 위력은 실로 대단하다고 할 수 있다. 예를 들어 컴퓨터와 같은 것은 초기에 집채만 하다가 자꾸만 작아져서 이제는 손바닥 안에 들어와 있으며, 그 성능 또한 단순한 계산을 하는 수준에서 현재는 무수히 많은 정보를 신속히 저장, 정리하고, 원하는 정보를 검색, 열람할 수 있으며, 그 정보를 통해 다른 기계까지도 인간을 대신하여 조정하는 수준까지 향상되어 있다. 이러한 전자 산업의 발전에 중추적인 역할을 담당하는 것이 바로 반도체이다.[1]
반도체 산업은 기술의 종합성과 혁신성으로 그 특성을 나타낼 수 있으며, 따라서 반도체 재료 또한 이러한 요구특성에 부합되도록 발전되어 왔다.[2] 여기서 종합성이라 함은 다양한 기술의 종합화로 반도체 칩이 제작되며 이러한 복합된 기술을 지원해주는 다양한 재료가 등장하게 되었다는 것을 의
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| 참고자료 |
1. Seng-Ki Joo, Byung-Yoon Kim : Metallization in semiconductor industry, 1997
2. Kunkul Ryoo : Semiconductor Materials(Silicon Wafers), 1997
3. 반도체 제조산업 현황, 한국반도체 산업협회, 1996
4. http://www.wafertop.com/infor/com-3.asp
5. http://www.semimaterials.com/kor/korean/product/waferindex.htm
6. H.Y. Chung, Y.H. Kim, H.D. Yoo, and S.H. Lee : Sample Pretreatment for the Determination of Metal Impurities in Silicon Wafer, 1999
7. 김부안, 신동우 : 세라믹스파괴특성(p.25~28), 원창출판사
8. G. E. Dieter : 금속강도학(p.122), 희중당
9. 이준근 : 세라믹스의 기계적 특성(p.22~23, p.110~112), 반도출판사
10. Baik-Woo Lee, Jae-il Jang, Dongil Kwon : Fracture Toughenss Evaluation of Small Notched Specimen in Consideration of Notch Effect and Loading Rate, 2000
11. 조성재, 표준과학연구원 소재특성평가센터 : 굽힘강도 측정방법에 관한 ISO 표준화 동향
12. http://www.spevetro.it/lpm-ita.htm
13. http://metal.or.kr/new/college/lecture/failure/fail01-02-01.htm
14. Heon-Joo Kim and Han-Goon Kim : Relationship between Fracture Toughness and Microstructure of Steels,
15. David J. Green : An Introduction to the Mechanical Properties of Ceramics(p.280~286), Cambridge |
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강화재와 노치가 실리콘 웨이퍼의 강도와 인성에 미치는 영향
