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³ª¹Ì86 > ¹®¼­¹Ú½º > ±âº» Æú´õ | 2008/10/05 ±¸¸Å(0) ¤Ó Á¶È¸(10)
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  • ÆÇ¸Å°¡°Ý : 500¿ø (2Pages)
  • ÀúÀ۽ñâ : 2008/09
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¿Àµç ºÎºÎ´Â ¾Æµé ·Î·»Á¶°¡ ÀÇ»çµéÀÇ È­ÇÐÄ¡·á, ½ÄÀÇ¿ä¹ýµé·Î ³¯·Î »ý¸íÀÇ ºûÀ» ÀҾ´Â °ÍÀ» º¸¸é¼­ ¹«Áö ¶§¹®¿¡ °íÅë¹Þ¾Æ¼­´Â ¾È µÈ´Ù¸ç ÀڽŵéÀÌ Á÷Á¢ ±× º´¿¡ ´ëÇØ ¿¬±¸ÇØ ³ª°¡±â·Î °á½ÉÇϸ鼭 ¿¬±¸´Â ½ÃÀ۵Ǵµ¥ ±³¼ö´ÔÀÇ ¸»¾¸Ã³·³ ¾î¶² ¿¬±¸ÁÖÁ¦¸¦ ¼±ÅÃÇÏ´Â °¡°¡ Á¤¸»·Î ¿¬±¸°úÁ¤°ú °á°ú¿¡ Å« ¿µÇâÀ» ³¢Ä£´Ù´Â »ý°¢ÀÌ µé¾ú´Ù. À̵鿡°Ô ALD º´À» Ä¡·á Çϴ¹æ¹ýÀ» ¹ß°ßÇÏ´Â °ÍÀº ´çÀå Á׾´Â ¾ÆµéÀÇ ¸ñ¼ûÀÌ ´Þ¸° ³Ê¹«³ªµµ Àý¹ÚÇÏ°í ½Ã±ÞÇÑ ÁÖÁ¦¿´´Ù.
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À§ Á¤º¸ ¹× °Ô½Ã¹° ³»¿ëÀÇ ºÒ¹ýÀû ÀÌ¿ë, ¹«´Ü ÀüÀ硤¹èÆ÷´Â ±ÝÁöµÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù.ÀúÀÛ±ÇÄ§ÇØ, ¸í¿¹ÈÑ¼Õ µî ºÐÀï¿ä¼Ò ¹ß°ß½Ã °í°´¼¾ÅÍÀÇ ÀúÀÛ±ÇÄ§ÇØ ½Å°í¼¾Å͸¦ ÀÌ¿ëÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù.

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